測(cè)量精度：

測(cè)量精度指測(cè)量出來(lái)的尺寸數(shù)據(jù)與被測(cè)標(biāo)準(zhǔn)值的偏差值，在測(cè)量過(guò)程中，所有的測(cè)量精確值都是相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)值的數(shù)據(jù)，而不可能達(dá)到絕對(duì)精度

重復(fù)精度：

量測(cè)結(jié)果的重復(fù)精度是指在相同的量測(cè)環(huán)境下，對(duì)同樣的被測(cè)物反復(fù)多次測(cè)量，所得出的量測(cè)結(jié)果進(jìn)行對(duì)比，是否能夠保持一致性或形成的偏差值。

分辨率：

對(duì)被測(cè)物體細(xì)微結(jié)構(gòu)能清楚區(qū)分其最小間隔的能力，能清楚區(qū)分相鄰兩個(gè)物點(diǎn)間的最小距離的能力。