隧道掃描顯微術(shù)（ Scanning Tunneling Microscopy , STM ）是利用量子隧道效應(yīng)的表面研究技術(shù)。能實(shí)時(shí)、原位觀察樣品最表面層的局域結(jié)構(gòu)信息，能達(dá)到原子級(jí)的高分辨率。它沒有鏡頭，使用一根探針，探針和物體之間加上電壓。如果探針距離物體表面很近，大約在納米級(jí)的距離上，隧道效應(yīng)就會(huì)起作用。電子會(huì)穿過物體與探針之間的空隙，形成一股微弱的電流。如果探針與物體的距離發(fā)生變化，這股電流也會(huì)相應(yīng)改變。這樣，通過測(cè)量電流我們就能知道物體表面的形狀，分辨率可以達(dá)到單個(gè)原子的級(jí)別。電子顯微鏡的分辨率已達(dá)到0.1~0.3nm，即與金屬點(diǎn)陣中原子間距相當(dāng)