工 作 臺 | X/Y軸行程 | 400MM*300MM |
Z軸行程 | 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離90mm |
金屬臺面尺寸 | 550mm*450mm |
玻璃臺面尺寸 | 430mm*330mm |
傳動型式 | 傳動型:X/Y/Z軸臺灣精密線性導(dǎo)軌和臺灣研磨級滾珠螺桿 |
測量伺服驅(qū)動系統(tǒng) | 三軸金屬貼片尺 分辨率:X/Y/Z軸0.0002mm(0.2um) |
測量精度:≤3um+L/200 重復(fù)精度:≤3um |
X/Y/Z三軸閉環(huán)伺服電機,雙重閉環(huán)控制系統(tǒng) |
影像系統(tǒng) | 攝像機:日本彩色 1/2″CCD 攝像機放大倍率30-230X |
物鏡放大倍率:5X 10X 20X 50X(可按用戶要求配置) |
目鏡筒 | 三目,目鏡:10X,總放大倍數(shù)50X-500X |
照明系統(tǒng) | 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào) |